性能特點(diǎn)：
石墨熱場系統(tǒng)的作用是指為了熔化硅料，并使單晶生長保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。
石墨熱場一般包括（石墨材料）壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓，且為了防止漏硅，爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。