性能特點：
石墨熱場系統(tǒng)的作用是指為了熔化硅料，并使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個系統(tǒng)。
石墨熱場一般包括（石墨材料）壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓，且為了防止漏硅，爐底、金屬電極、托桿、都設置了保護板、保護套。
性能特點：
石墨熱場系統(tǒng)的作用是指為了熔化硅料，并使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個系統(tǒng)。
石墨熱場一般包括（石墨材料）壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓，且為了防止漏硅，爐底、金屬電極、托桿、都設置了保護板、保護套。
石墨熱場是用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。最常見的是18寸的石墨熱場。熱場是真空電阻爐的核心部分，它的好壞直接影響到爐子的性能及其運營成本。大多數(shù)真空電阻爐的石墨熱場主要包括四個主要部分：加熱器以及連接部件、隔熱部件（或者反射屏）、熱場支撐部件、工件承載陸床。熱場的主要有方形和圓形之分。
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